WIGGENS化学杂交真空泵Hybrid-6D/8D/17D

纯油封旋片泵真空度高，但腐蚀性溶剂蒸汽进入泵腔会冷凝、稀释泵油、腐蚀腔体，油换得勤、泵坏得快。
纯隔膜泵耐腐蚀、无油，但极限真空只能到 1–15 mbar，够不上高真空需求。
化学杂交泵就是把两者的优点拼到一起。

蒸汽在低压和室温下被油封式旋片泵吸入；在泵内通过热交换和压缩被加热至约 60℃。
隔膜泵接在旋片泵的出气口，形成低压环境。在这个低压下，溶剂蒸汽在旋片泵中不容易冷凝——冷凝物减少，意味着泵腔内腐蚀有效减少。
同时隔膜泵及时吸出滞留在旋片泵内的气体，缩短腐蚀性气体在泵腔的驻留时间，并使溶剂蒸汽分压始终低于露点，减少氧化性或腐蚀性气体的冷凝。
结果：既耐腐蚀，又能形成较高真空。

Hybrid-6D　W1062010 ｜ 抽速 4.5 m³/h（75 L/min）
Hybrid-8D　W1062020 ｜ 抽速 10.8 m³/h（180 L/min）
Hybrid-17D　W1062030 ｜ 抽速 12.6 m³/h（210 L/min）
三款均为 2+2 级，极限分压 4×10⁻⁴ mbar；极限真空（气镇关）4×10⁻³ mbar、（气镇开）4×10⁻² mbar；进气 KF DN25，出气 12 mm。

可配 DVM150Pro（15060-02）：高亮 TFT 显示屏，远距离也能看清系统真空值；真空压力分辨率 0.001 mbar，测压范围 0.001–9.999 mbar；紧凑设计、KF16 法兰接口，可直接与泵体连接；接触气体材料为不锈钢 06Cr19Ni10，可耐受部分酸碱气体；采用皮拉尼传感器，用于中低真空测量。